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空分分離在電子特氣制造中的應(yīng)用

空分分離在電子特氣制造中的應(yīng)用
空分分離技術(shù)在稀有氣體提純中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。它基于空氣中各組分沸點(diǎn)差異,通過低溫精餾等工藝實(shí)現(xiàn)分離??諝饨?jīng)壓縮、凈化、冷卻后進(jìn)入精餾塔,在塔內(nèi)反復(fù)汽化、冷凝,利用氮、氧等主要組分與稀有氣體沸點(diǎn)不同,逐步分離出高純度稀有氣體。該技術(shù)能高效提取氦、氖、氬、氪、氙等稀有氣體,且產(chǎn)品純度高、產(chǎn)量穩(wěn)定。隨著技術(shù)發(fā)展,空分分離工藝不斷優(yōu)化,能耗降低、效率提高,為稀有氣體在電子、照明、醫(yī)療等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用提供了可靠保障。
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在空分設(shè)備中,低溫液體采用離心式低溫泵來進(jìn)行低溫液體的增壓輸送,為了保證設(shè)備運(yùn)行可靠,一般配置2臺低溫泵,采用1用1備,正常工作時,主泵滿負(fù)荷運(yùn)行,備用泵低負(fù)荷運(yùn)行處于備用狀態(tài)。由于低溫液體泵的工作介質(zhì)溫度在-180°C左右,工作壓力又很高,并且泵體安裝在冷箱內(nèi)部,當(dāng)泵出現(xiàn)故障時,維修極為困難,因此
在流量孔板前后,須有足夠的光滑直管段??装迩盀?0倍管徑距離,孔板后為5倍管徑距離,且不允許存在影響測量精度的因素(如管接頭等)。管道焊縫其內(nèi)表面亦應(yīng)磨平,墊片不可伸入管子內(nèi)徑。并要仔細(xì)檢查孔板的安裝方向,不得裝反。(判斷方法:小口為入口,大口為出口)
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