??? 常規(guī)的制氬方法先從精餾塔抽取含氬達9%～12%的氬餾分，再在粗氬塔中進行氧氬分離，獲得96%Ar+2.5%O2+1.5%N2組成的粗氬。然后經(jīng)加氫除氧純化后，較終在精氬塔實現(xiàn)氬、氮分離，獲得99.999%的精氬產(chǎn)品。
加氫法除去粗氬中的氧，是一種傳統(tǒng)的氬精制法，應(yīng)用化學(xué)原理在粗氬中加入純氫氣，粗氬中氧與氫在鈀觸媒的催化作用下化合成水，并放出熱量，約1%的氧可使塔溫升高230℃。
加氫后粗氬經(jīng)冷凍機降溫，除去生成的水，再經(jīng)活性氧化鋁干燥器除去微量水，得到的粗氬含氧量為1×10-6～2 ×10-6，含氬量為97%左右，其余為氮。這種方法的工藝流程復(fù)雜，產(chǎn)品提取率低，設(shè)備費用及運行費用高，安全性差。
所謂全精餾制氬，即全部用精餾的方法除去餾分氬中的氧、氮，得到高純氬氣。通常氬一氮的分離都是用全精餾的方法來實現(xiàn)的。由于氧一氬在常壓下沸點僅差3K，非常接近，如果用低溫精餾來實現(xiàn)氧一氬分離，約需要150～180塊理論塔板，用篩板塔來分離的實際塔板數(shù)需要170～200塊塔板，以每塊塔板阻力為0.3kPa計算，170塊塔板產(chǎn)生的壓差為51kPa。粗氬塔頂粗氬蒸氣的冷凝是靠冷凝器另一側(cè)富氧液空蒸發(fā)，而蒸發(fā)側(cè)的壓力與上塔中部的操作壓力相平衡，可確定粗氬塔頂部的溫度和壓力，而粗氬塔底部餾分氬入口的壓力取決于上塔中、下部的壓力。這樣看來，粗氬塔的總壓差是有限的，估計在5～18kPa，允許設(shè)置50～60塊塔板，這樣在粗氬塔精餾獲得的氬氣中含氧量只能在2%～3%。
規(guī)整填料每當(dāng)量理論塔板的壓降是每理論篩板的1/8左右，這樣在粗氬塔允許的壓降范圍內(nèi)就可以設(shè)置相當(dāng)于170塊理論塔板的規(guī)整填料，實現(xiàn)氧一氬的全精餾分離。為了降低粗氬塔的高度，往往采取設(shè)置二級粗氬塔，工藝流程如圖17所示。一級粗氬塔出口氬中氧含量為2%～3%，二級粗氬塔出口中氧含量小于10-6，可直接進入精氬塔進行精餾。
兩者相比，全精餾法制氬工藝具有流程簡化、操作方便、安全、穩(wěn)定，氬的提取率高的優(yōu)點，雖然設(shè)備投資目前要稍高一些，但隨著規(guī)整填料的發(fā)展，該技術(shù)有很大推廣價值。