外壓縮流程的空分設(shè)備生產(chǎn)的氧氮產(chǎn)品為來自上塔的低壓氧氣、氮氣，經(jīng)換熱器復(fù)熱后送出冷箱，出冷箱的產(chǎn)品氣體壓力一般為0.12MPa，經(jīng)氧氣壓縮機將之壓縮到用戶所需壓力后，送入用戶管線。

氧氣內(nèi)壓縮流程是從冷凝蒸發(fā)器直接抽出液氧產(chǎn)品，在冷箱內(nèi)，經(jīng)液氧泵壓縮到用戶所需壓力，再經(jīng)換熱器復(fù)熱、氣化后送入用戶管線。

同外壓縮流程相比，液氧內(nèi)壓縮流程具有以下特點：

1、不需配置氧氣壓縮機，只需配置液氧泵，液氧泵同氧壓機相比，體積小，結(jié)構(gòu)簡單，費用降低。

2、由于不斷有大量的液氧從冷凝蒸發(fā)器排出，碳?xì)浠衔锊灰自诶淠舭l(fā)器集聚，有利于設(shè)備安全運行，壓縮液態(tài)氧比壓縮氣態(tài)氧安全系數(shù)更大。

3、由于液氧復(fù)熱、氣化時的壓力較高，要求換熱器的氧通道具有更高的承壓性能，因此內(nèi)壓縮流程的換熱器成本相應(yīng)提高。

4、內(nèi)壓縮流程的液氧氣化冷量充足，冷損相對較大，為了保持冷量平衡，要求原料空氣的壓力較高，增加了空壓機的能耗。

綜合性相比，液氧內(nèi)壓縮流程的安全性和可靠性更高，隨著變頻液氧泵的應(yīng)用，產(chǎn)品氮氣、氧氣的流量調(diào)節(jié)更加靈活，產(chǎn)品的純度也更高。